CRONUS-2P　は２光子励起顕微鏡用光源で、高繰返し・高平均出力・短パルス幅・GDD制御が得られ、２つの可変出力と1つの固定波長出力が同期して同時に得られるので、産業用グレードの３チャンネル波長可変フェムト秒レーザで有り、非線形光学用にデザインされた究極の高度に調整可能な光源と言えます。

 

この度CRONUS-2P　を使用した半導体検査装置のWhite Peperが発表されました。　　

BIGFOOT®とNESSIE®システムで構成されるMONSTR Sense Technologies社製の超高速顕微鏡にCRONUS-2Pから発振したフェムト秒レーザのレーザビームを入射することにより、ポンプパルスとプローブパルスが生成され、それらはガルボとウェーハステージスキャンの組み合わせを使用してサンプル全体にラスタースキャンされます。高い空間分解能とウェハースケールの測定を行う能力を有する超高速顕微鏡と高度に調整可能なフェムト秒レーザ CRONUS-2Pの組合せにより、材料の正確な分析・評価を行う事が出来、GaAs量子井戸ウェーハ、マイクロOLEDディスプレイ、およびTMD等に利用出来るようです。

この分析法は欠陥状態やひずみに対する感度が高く、サブミクロンの空間分解能を持ち、他の検査技術と比較しても信号強度が向上しており、今後の発展が期待されます。

 

 

                             CRONUS-2P

 

 

CRONUS-2P + Ultrafast microscope → Probe pulse & Pump pulse  

 

 

 

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