AvaThinfilmは、光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で、非接触でリアルタイムの測定が可能。（ファイバー入射型分光器利用の膜厚測定）分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと、試料の物性値から膜の厚みを計測。非常に低価格なので気軽に使用できる。

本体はファイバー入射型分光器なので、他の光計測に利用できる。

特長

●非接触でリアルタイムに計測
●10nm～50μm の膜の厚みを計測
●測定分解能：1nm
●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等
●分光器としての用途に使用できる
●専用のソフト(AvaSoft-ThinFilm)、ThinFilm stage、反射プローブ付きで卓上で簡単に膜厚計側が可能

専用ソフトウェアに一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。

●最新のシステム構成：Thinfilm Bundle

How to perform a Thinfilm Measeurement No.1 by Avantes

How to perform a Thinfilm Measurement No.2 by Avantes

半導体関連の計測例

★評価機をご用意しておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

＊分光器：AvaSpec　詳細ページへ

＊光源：AvaLight-DHｃ　詳細ページへ