AvaThinfilmは、光の干渉を利用した薄膜の膜厚測定方式で、非接触でリアルタイムの測定が可能。（ファイバー入射型分光器利用の膜厚測定）分光器、重水素ハロゲン光源、反射プローブ等の構成で薄膜で起こる干渉パターンと、試料の物性値から膜の厚みを計測。非常に低価格なので気軽に使用できる。

本体はファイバー入射型分光器なので、他の光計測に利用できる。

特長

●非接触でリアルタイムに計測
●10nm～50μm の膜の厚みを計測
●測定分解能：1nm
●レジスト、酸化膜、機能性フィルム等
●分光器としての用途に使用できる

●専用のソフト(AvaSoft-ThinFilm)に一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。

★最新のシステム構成：

◆分光器：AvaSpec-ULS2048CL-EVO　

（ Grating UA (200～1100nm), 100μm slit, DCL-UV/VIS-200, OSC-UA )

◆専用ソフト：AvaSoft-Thinfilm

◆光源：AvaLight-DHc (PS-12V/1.0A付）

◆ファイバー：FCR-7UVIR200-2-ME 反射プローブ

◆ステージ：ThinFilm stage

膜厚測定のやり方　No.1　(Avantes 社提供 video）

膜厚測定のやり方　No.2　(Avantes社提供 video)　

半導体関連の応用計測　（Avantes社提供 Video)

★評価機をご用意しておりますので、お気軽にお問合せ下さい。

＊分光器：AvaSpec　詳細ページへ

＊光源：AvaLight-DHｃ　詳細ページへ