Brevityシリーズは中赤外域(<2.1μm)のフェムト秒・ピコ秒ファイバーレーザで、広範囲のアプリケーションに対応可能な中赤外光源です。2020年に堅牢で使い易いボディにモデルチェンジして、理科学用途に加えて産業用・加工用途に最適なBrevity-HPが登場しました。
Brevity-HPはターンキー操作のピコ秒ファイバーレーザで、中赤外域で高ピークパワーが得られるため広範囲の産業用途に対応可能です。
1.96μm の高いピークパワー光は半導体(シリコン) に透過できるので、半導体関連の加工用途(リフトオフ、ウエハーのデボンディング、ダイシング) 等に最適です。
Brevity-HP シリコン加工例
●シリコンや低エネルギーバンドギャップ半導体を透過出来る1.96 μm 光源
●パルスエネルギー:>1μJ
●加工に適した高いスループット:1MHz繰返し
●高精度マシニングに最適なパルス幅:2ps, M2<1.5
●安定したオールインファイバーデザイン