CARBIDEは、高平均出力と高い出力安定性を併せ持つフェムト秒レーザで、レーザビームの品質とビーム安定性に優れている。
コンパクトで堅牢なオプトメカニカルデザインにより、トップクラスの研究施設での応用研究に、又はディスプレイ・自動化システム・LED・メディカル等のハイテク産業の工場における各種の応用に対応できる。
CARBIDEの信頼性は製造現場の各種の厳しい環境下に於いて、24/7の稼働をしている何百ものシステム事例により証明されている。
更にビーム安定性のあるウルトラファーストパルスを必要とする産業用途において、内蔵のパルスピッカーにより出力やエネルギーをコントロールし、環境に左右されずに安定したビーム品質と出力安定性を得ることが可能。
またCARBIDEのパルス幅 (190fs~20ps) 、パルス繰返し (single shot~2MHz)等のチューナブル機能や、高平均出力 (~120W)、パルスエネルギー (~2mJ)等の可変パラメータにより多くのアプリケーションに対応できるので、新しいより優れた加工プロセスを見出す事に貢献することが可能。また内蔵のパルスピッカ―の機能により、パルス・オン・デマンドモードが得られ、出力、パルス繰返し周波数、照射タイミングも自由に正確にコントロール可能。
CARBIDEは定評のある高性能フェムト秒レーザPHAROSの特長をそのままに、発振器からアンプまで全てを単一の筐体に統合することを実現した、ユニボディデザインの産業用グレードフェムト秒レーザ。LDドライバ、制御回路、冷却部等が高度に統合されレーザヘッドに内蔵することで電磁波ノイズ放射を軽減。製造現場の種々な環境にも対応できる堅牢なボディと設計。高効率キャビティ設計でサイズが劇的に小型化。また組み立てが容易で量産に最適化されており、産業用途に最適なほか、理科学用途にも最適。
コンパクト空冷タイプと、産業用グレード水冷高出力タイプが有る。
特長
●ワンボックス
●最大平均出力 120W (@1mJ)
●最大パルスエネルギー 2mJ (@80W)
●コンパクトなレーザヘッド(632x305x173mm水冷)(631x324x167mm空冷)
●パルス幅が可変 190fs ~ 20ps
●繰返し周波数も自由に設定 single ~ 10MHz★
●パルスピッカー内蔵によるパルスオンデマンド機能
●出力、パルス繰り返し周波数、パルス幅の設定もコンピューターから一瞬で完了
●高調波オプション(515/343/257nm)50W-UVモデル 自動切り替え・本体に直付け (206nm空冷モデルCB5)
●操作が簡単で機器組込みに最適
●水冷タイプは特に産業用グレードの堅牢な機械構造
◆主な仕様 ★new
モデル |
CB3-20W(水冷) |
CB3-40W (水冷)
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CB3-80W(水冷) |
CB3-120W(水冷) |
CB5(空冷) |
CB5-SP(空冷)
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最大平均出力 |
20W |
40W |
40W |
80W |
120W |
6W |
5W |
5W |
最短パルス幅 |
250fs |
250fs |
250fs |
|
350fs |
<250fs |
290fs |
<190fs |
パルス幅可変レンジ |
250fs~10ps |
250fs~10ps |
350fs~10ps |
250fs~10ps |
290fs~20ps |
190fs~20ps |
最大パルスエネルギー |
0.4mJ |
0.4mJ |
0.2mJ |
0.8mJ |
2mJ |
1mJ |
100μJ |
83μJ |
100μJ |
パルス繰返し周波数 |
single-shot~
1MHz
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single-shot~
1MHz(2MHz)
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single-shot~
10MHz
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single-shot~2MHz |
single-shot~1MHz
(2MHz on request)
|
single-shot~1MHz |
ビーム安定性 |
<20μrad/℃ |
エネルギー安定性 |
RMS deviation < 0.5% over 24 h |
長時間出力安定性 |
RMS deviation < 0.5% over 100 h |
CARBIDE
用途
■先端加工、高品位・高精度微細加工
■微細構造加工
■非線形光学
■マイクロマシニング
■マイクロ・ナノ構造の作製
■時間分解分光
■バイオメディカル (デバイス製造、生物細胞関連
CARBIDEを使用した産業用アプリケーション例は →こちらから
◆BiBurst(burst-in-burst 動作による可変GHz/MHz バーストの可能性)
高出力フェムト秒レーザ CARBIDEにフレキシブルで柔軟性の高いBiBurst機能を追加することにより、新しいハイテクな製造産業(家庭電化製品、ICチップ製造、ステント切断、表面機能化、次世代ディスプレイ工場、量子コンピュータ等)において、マイクロマシニングアプリケーション等の新しいソリューションを提供。
材料加工の拡張性:各種金属・セラミック・サファイア・ガラスの穴あけや切断、質量分析用の材料アブレーション、IC チップ製造等の内部加工、多層構造材料加工等各種の高精度な微細加工が実現可能
BiBurst
◆HG-CARBIDE(高調波)モジュール(2H, 2H-3H, 2H-4H)をレーザヘッド本体に直付けして使用することが可能。HGモジュールは堅牢な産業用グレードの機器構造でソフトウェアにより出力波長を自動切換え可能。CB3-UV-50W
◆I-OPAは産業用グレードの光パラメトリック増幅器で、CARBIDEに直付け可能。産業用の堅牢なデザインとフレキシブルな波長可変が融合して幅広いアプリケーションに対応可能。主として分光分析や顕微分光に使用され、マルチフォトン顕微鏡用に最適。
●最大出力40W、シングルショット~最大繰返し2MHz
◆SCI-Mは理科学用途向けのモジュール
SCIモジュールを外付けする事で、産業用グレードのCARBIDEの能力を維持したまま、フレキシブルな拡がりが加わり、特に理科学用途にとって魅力的。(5つの出力ポート)
CARBIDEにORPHEUS(OPA)を組み合わせると、広帯域で可変波長にて高繰り返し・高出力・高ビーム品質のフェムト秒パルスが得られるので、マルチフォトン顕微鏡やマイクロ・ナノ構造の作成・時間分解分光・微細構造加工等の理科学用途に最適。
CARBIDEを使用した理科学用アプリケーション例は →こちらから
マイクロ&ナノファブリケーション
非線形顕微鏡 超高速分光
フェムト秒・ピコ秒レーザ用途に最適な光学部品は →こちらから
フェムト秒・ピコ秒レーザ用途に最適なレーザ結晶・非線形結晶は →こちらから
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