CRONUS-2Pを使用した半導体検査装置の研究成果  (Light Conversion 社製)

 

CRONUS-2P は2光子励起顕微鏡用光源で、高繰返し・高平均出力・短パルス幅・GDD制御が得られ、2つの可変出力と1つの固定波長出力が同期して同時に得られるので、産業用グレードの3チャンネル波長可変フェムト秒レーザで有り、非線形光学用にデザインされた究極の高度に調整可能な光源と言えます。

 

この度CRONUS-2P を使用した半導体検査装置のWhite Peperが発表されました。  

BIGFOOT®とNESSIE®システムで構成されるMONSTR Sense Technologies社製の超高速顕微鏡CRONUS-2Pから発振したフェムト秒レーザのレーザビームを入射することにより、ポンプパルスとプローブパルスが生成され、それらはガルボとウェーハステージスキャンの組み合わせを使用してサンプル全体にラスタースキャンされます。高い空間分解能とウェハースケールの測定を行う能力を有する超高速顕微鏡と高度に調整可能なフェムト秒レーザ CRONUS-2Pの組合せにより、材料の正確な分析・評価を行う事が出来、GaAs量子井戸ウェーハ、マイクロOLEDディスプレイ、およびTMD等に利用出来るようです。

この分析法は欠陥状態やひずみに対する感度が高く、サブミクロンの空間分解能を持ち、他の検査技術と比較しても信号強度が向上しており、今後の発展が期待されます。

 

 

                             CRONUS-2P

 

 

CRONUS-2P + Ultrafast microscope → Probe pulse & Pump pulse  

 

 

 

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産業用グレードOPA   I-OPA

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 I-OPA-TW-air-cooled                 CARBIDE-CB5

 

 

 I-OPA-TW-HPチューニング曲線

 

I-OPA-TW-Fチューニング曲線

 

     

I-OPA-TW-ONEチューニング曲線

 

 

 

Ybレーザ用の波長可変OPA(光パラメトリック増幅器)

 

Light Conversion社はこれまでTi:Sapphireレーザ用OPA:TOPAS、Ytterbium (Yb)レーザ:PAROS/CARBIDE用OPA:ORPHEUS産業用グレード波長可変フェムト秒OPA: I-OPAなどを開発して来て、フェムト秒レーザ:PHAROS / CARBIDE と共に世界の波長可変ウルトラファーストレーザの市場に置いて、80%にも及ぶ製品を提供してきている。更に先端非線形顕微用用光源:CRONUS-3Pを開発し、波長可変OPAは超高速分光・非線形顕微鏡・その他理科学用のアプリケーションに対して、非常に役に立つ貴重な機器になっている。

 

       Platform  ORPHEUS

ORPHEUS-

NEO

I-OPA /

CRONUS-3P

TOPAS
              Ytterbium (Yb)          Ti:Sapphire   
自動波長チューニング機能     〇     〇            〇       
ワンボックス一体型           〇      
継続的出力モニター・解析機能           
励起ビーム位置軌跡トラッキング           
高度に統合された波長拡張機能       〇       〇            
より安定性の為の環境に配慮した気密性       〇            〇             
 

                                                                                                                                                      

I-OPAは、産業用グレードの光パラメトリック増幅器(OPA)の事で、波長可変フェムト秒光源の世界に新しい時代の簡略化した記号として登場している。堅牢な産業用のデザインと波長チューニング機能を組み合わせて開発されており、高出力フェムト秒・ピコ秒レーザ PHAROS CARBIDEに直付けしてワンボックスに一体化できるので安定性に優れいる。更に気密性に配慮したシールドデザインにより、メカニカル的な安定性に優れ、大気の乱気流の影響を受けない様に、エネルギーの変動を最小限にする様に設計されているため、長時間にわたり安定したパフォーマンスを提供することが出出来る。また高度に統合された波長拡張機能により、紫外から中赤外域まで広帯域で波長チューニング可能なので、分光や顕微鏡の応用計測などに最適。

 

特長

●産業用デザインの波長チューニング機能

●ワンボックス型

●波長可変モデル 又は 固定波長モデル

●プラグアンドプレイ機能と力強いパフォーマンス

●市場の中で最もコンパクト

 

I-OPA-HP:~40W/ 20~400μJ/ ~2MHz/ 640~2600nm可変/ 120~250fs       超高速ポンププローブ分光

 

I-OPA-F~40W/ 20~400μJ/ ~2MHz/ 650~2500nm可変/ <100fs@1200~2000nm マルチフォトン顕微鏡用光源

 

I-OPA-ONE~40W/ 20~400μJ/ ~2MHz/ 1350~4500nm可変/ 100~300fs       赤外分光

 

 

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産業用グレード Ybフェムト秒レーザ (PHAROS, CARBIDE, FLINT)

               

 

  PHAROS

  CARBIDE

 

 FLINT-FL1 

 

LIGHT CONVERSION 社は世界的に認知されている産業用グレード・ Ybベースのフェムト秒レーザ PHAROSCARBIDE, FLINTを製造しています。PHAROS series はカスタマイズ性、信頼性を大切にすることに注目し、プロセスに併せた出力パラメータを提供し100 fs 以下のパルス幅や 4 mJ のパルスエネルギーを提供しています。CARBIDE はコンパクトな産業用デザインと共に空冷モデルと水冷モデルを提供し、水冷モデルは卓越した出力安定性を維持したままで 120 Wの出力や 2 mJ のパルスエネルギーを提供することが可能です。オシレータのみの FLINT はパルス繰返し周波数が10 MHz~100 MHz まで選べ、しかも理科学用途・産業用途・メディカルアプリケーションにも対応出来るパラメータを提供できるので、全ての用途に対応可能です。

フェムト秒レーザの比較
 製品名 最大平均出力 最大パルスエネルギー 繰返し周波数 パルス幅 特長・オプション
20 W 4 mJ Single-shot – 1 MHz < 100 fs – 20 ps (tunable) CEP 安定化オプション
繰返し周波数ロックオプション 
120 W 2 mJ Single-shot – 10 MHz < 190 fs – 20 ps (tunable) 高出力・高繰返しモデル、コンパクトなフットプリント
空冷モデル・水冷モデル
20 W 0.5 µJ

10, 40, or 80 MHz 

FLINT-FL1(60-100MHz選択可能)

< 50 fs / < 170 fs CEP 安定化オプション
繰返し周波数ロックオプション 

 

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最新のコンパクト・パワフル・万能型分光器 NEXOS™ 新たなブランド名で新登場! (Avantes社製)

Avantes社はファイバーオプティック分光器&システムを開発し続けている先駆者であり、イノベーターであり、世界の分光器リーディングカンパニーです。

2023年お客様の立場に立って分光器の構成を創り出してきた30年の経験を基に、コンパクトで次世代のフォトニクスに対応出来る様に考慮し、あらゆる産業用途に応用できるコンパクトな万能型分光器を開発しました。

この度次世代型コンパクト万能型分光器が、NEXOS™という新たなブランド名で新登場しました。

 

これまでのcompactLine (AvaSpec-Miniシリーズ) に加わり、コンパクトながら高速で高パフォーマンスが得られ、OEM 組込み対応で各種研究用、その他の応用は無限大であらゆる分野で使用出来る次世代型です。
最先端のオートメーション技術の工場で生産される為、優れた再現性が得られ個々の品質安定性・信頼性が高く、簡単に各種の機器やシステムに組み込み・統合することが出来ます。特にサイズやフレキシブルさが要求される場合に最適です。

USB接続の基本型(NEXOS™) に加えてRS232/SPI 接続型(NEXOS™-LINK), ユーザーのニーズに合わせて構築出来る(NEXOS™-BENCH ONLY) が有り、アプリケーションや組合わせる機器に応じて3タイプから選べる様に用意されています。

 

 

特長
●コンパクトサイズ

●CMOS制御(2K-2048ピクセル/4K-4096ピクセル)

●最新の光学ベンチ(NEXOS Bench) F=75mm

●波長分解能 0.05nm~21.3nm

●迷光:0.1~1%
●ダイナミックレンジ :> 4500 : 1

●s/n: 375 : 1 (365:1)

●露光時間: 最小9μs~30s
●計測の柔軟性(slitサイズの変更が可能)
●機器やシステムとの統合がスムーズ
●温度・波長安定性が高い
●USB接続基本タイプ(USB2.0), 

●寸法:105 x 80 x 20mm, 277.5g

●波長域:190nm~1100nm

 

 

 

 

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Starline Spectrometers 標準・万能型・高波長分解能分光器

 

 

logo_Avantes_BV

Avantes社は1995年に設立され、分光器を中心とした光学機器のカスタム品や各種応用機器を発展させ、OEM製品を産み出していくという哲学のもと発展し、常に革新的で高精度、高品質、ユーザーフレンドリーの機器を創り出すことに力を置き、最先端の分光器、ファイバー、ソフト、光源、アクセサリーを提供しています。

 

光学ベンチ(AvaBench-ULS)

アプリケーションに対応する分光器ガイド
グレーティングの種類と波長への影響
スリットの選択と波長分解能
ディテクター仕様と波長分解能グラフ
NIR Lineディテクター仕様
迷光と2次光の影響を防ぐオプションの種類と特徴

★Avantes 2024 総合カタログ(英文)はこちらから

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    AvaSpec-VARIUSTM         AvaSpec-ULS4096CL       AvaSpec-ULS2048CL     AvaSpec-Multi-CH

AvaSpec-VARIUS™

 

 

 

  

 

 

  

 

 

 

 

  AvaSpec-VARIUS™-OEM

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

AvaSpec StarLineは、長年Avantes 社が一般的な分光の応用計測用に開発し提供してきた万能型で、高パフォーマンスが得られる分光器。2018年以降、新開発のエレクトロニクスボードと最新のCMOSセンサ技術を採用した超高速分光器(USB3.0)が標準・万能型になっている。反射・透過率測定、発光測定やカラー計測等の最も一般的な分光計測をはじめとして、種々の応用計測に対応している。

最新のCOMSイメージセンサはブルーミングやスミア現象が生じることなく、高度な信号処理により、低ノイズでCCD センサと同等の感度や波長分解能が得られ、しかも費用効果が高いので、次世代に向けて今後ニーズが期待される。

 

AvaSpec-VARIUS™ は、汎用性に優れフレキシブルなデザインの万能型で、コンパクトでプラグアンドプレイ搭載の高速・高性能・高品質の次世代型分光器。最新のCMOS イメージセンサ (2048-2k / 4096-4k)を採用したCMOS ディテクタ型の次世代進化型。

超高速USB3.0 通信とGigabit Ethernetの高速伝送や多メモリー保存が可能で、迷光が殆どなく、高波長分解能・高パフォーマンスの測定が実現している。

最先端のオートメーション技術の工場で生産することで、優れた再現性が得られ個々の品質安定性・信頼性が高く、簡単に各種の機器やシステムに組み込み・統合することが出来る。パワフルでハイエンドなパフォーマンスと高精度・高信頼性、汎用性に優れると共にフレキシブルなデザインが特徴的で、広範囲にわたり各種のアプリケーションに対応出来ます。しかも手頃な価格が魅力的。

 

特長                              

●コンパクト、プラグアンドプレイデバイス             

●CMOS制御(2048/4096ピクセル)                

●高速計測・データ処理 (USB3.0)5Gbps   

●波長分解能                                  ●産業用システムへシームレスに統合

●計測の柔軟性(slitサイズの変更が簡単)

●機器やシステムとの統合がスムーズ

●s/n: 375 : 1

●感度:365.000 / 261.000●露光時間: 最小9μs~30s
●F=75mm の光学ベンチ
●迷光:<0.1%
●ダイナミックレンジ :> 4500 : 1

●波長域:190~1100nm

 

AvaSpec-VARIUS™-OEMは、産業用の組込み等に適する様にデザインされたもので、電磁シールドを備えた頑丈なステンレス製のハウジングは顧客のデバイスやシステムにシームレスにまたスムーズに統合できる様に設計されている。

 

特長

●堅牢で産業用に最適なハウジング

●電磁両立性 (EMC) 

 

用途

 

AvaSpec-VARIUS Video by Avantes

 

AvaSpec-ULS2048CL-EVO

  

 

 

 

AS-7010

エレクトロニクスボード

 

 

 

 

 

 

 

AvaSpec-ULS4096CL-EVO_2018.8-

 AvaSpec-ULS4096CL-EVO

 

 

 

 

 

 

 130nm                 400nm

 

 

殺菌用UV-Cランプ光源

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

  AvaSpec-RS

 

 

     Slit kit

 

 

 

 

 

 

 

AvaSpec-ULS2048CL-EVO は、最新のCMOS 技術を駆使したCMOS イメージセンサを採用したCMOS ディテクタ型の次世代進化型分光器。新開発のエレクトロニクスボード(AS-7010)により革命的な次世代型の超高パフォーマンスが実現。
EVO シリーズはAS-7010 により超高速USB3.0 通信とGigabit Ethernetの高速伝送や多メモリー保存が可能で、迷光が殆どなく、高波長分解能での測定が実現している。
最新のCOMSイメージセンサはブルーミングやスミア現象が生じることなく、高度な信号処理により、低ノイズでCCD センサと同等の感度や波長分解能が得られ、しかも費用効果が高いので、次世代に向けて今後ニーズが期待される。

 

特長

●CMOS センサ制御(ブルーミングやスミア現象が生じない)
●USB3.0 超高速5Gbps 通信処理(USB2.0 の10 倍速)
●1Gbps でLAN 経由で直接遠距離データ伝送可能
●メモリー機能:100Mpixel を高速で内部保存し、PC へ直接伝送可能

●外部トリガー機能
●最小波長分解能: >0.06nm

●最小露光時間: 30μs
●スリット交換型(-RS)も選択可能→ユーザーが現場でスリット交換可能

●マルチチャンネル対応 
●波長域: 200~1100nm

 

                                                                                                                  

AvaSpec-ULS4096CL-EVO は、最新のCMOS 技術を駆使したCMOS リニアーイメージセンサを採用したCMOS ディテクタ型の高性能最新型で、4096ピクセル (7x200μs) のディテクターにより、露光時間が極めて短くなり (>9μs)、最小波長分解能>0.05nmを実現。プラズマ計測やLIBS 用に最適。

 

特長

●CMOS センサ制御(ブルーミングやスミア現象が生じない)
●USB3.0 超高速5Gbps 通信処理(USB2.0 の10 倍速)
●1Gbps でLAN 経由で直接遠距離データ伝送可能
●メモリー機能:100Mpixel を高速で内部保存し、PC へ直接伝送可能

●外部トリガー機能
●最小波長分解能: >0.05nm

●最小露光時間:9μs
●スリット交換型(-RS)も選択可能→ユーザーが現場でスリット交換可能

●マルチチャンネル対応 
●波長域: 200~1100nm

 

★Deep UV波長「殺菌紫外線」測定                                                                                           

CMOSイメージセンサは、UV領域に優れた感度を持つので、波長レンジ:200-400nm, 130-310nmに於いて殺菌用UV-Cランプ光源の波長測定・パワー測定に有効。

 

 

AvaSpec-ULS4096CL-EVO Video by Avantes

 

 

AvaSpec-ULS2048/4096CL-EVOを使用した光学計測例

 

AvaSpec-ULS2048/4096CL-EVOを使用したバイオメディカル・ライフサイエンス計測例

 

 

AvaSpec-ULS2048/4096CL-EVOを使用した半導体関連の応用計測例

 

 

 

 

                                                                                                 

AvaSpec-RS スリット交換型分光器(測定用途に応じてスリット幅の変更が可能) 

●AvaSpec-ULS 又は Avapec-NIR256-1.7 の各タイプに対応可能

●スリットサイズ:25/50/100/200μm

●Slit kit:4種類のスリットと交換用冶具、SMA-905又はFC/PCコネクターを含む

 

●AvaSpec-RS 型 slit交換の仕方

 

 

 

 

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Avantes-Dual-2016

 

 

 

 

 

AvaSpec-Multichannel-4_2016_web

        4ch Desktop

 

 

AvaSpec-_Multichannel_2016

       8ch Rackmount

AvaSpec 各モデルの分光器は通常単独で使用するが、より高い分解能を要求する場合、

又は一度に2つの計測をしたい場合等に対応した、同じ分光器が2つ内蔵されている

AvaSpec Dual-Channel が有り、2つの分光器が独立して動作できる。

1チャンネルと2チャンネルを違うディテクタータイプにすることも可能。

 

Dual-Channel 寸法: 175x165x85mm,     1.8kg

 

 

 

さらに広帯域での計測や多角的な計測をする場合、より多くの分光器を一度に使用して、

そのコントロールを同時にすることが出来れば、効率よく計測ができる。

産業現場でのプロセスコントロール等、多くの分光器を一度に使用したいニーズには

AvaSpec Multi-Channel が有効。

 

●3~4ch デスクトップ型 寸法:315x 235x135mm  

 

●5~10ch ラックマウント型 寸法:315 x 445 x 135mm

 

内蔵させる分光器はディテクタータイプから選ぶことが可能で、各チャンネル毎に

スリット・グレーティング・オプション等を選択でき、チャンネル毎にシングル

USB2.0ケーブルで接続される。動作ソフトAvaSoft-Basic付き。

 

特長

●1台の中に最大10チャンネルが構築

●ニーズに応じてそれぞれのチャンネルが独立して稼働可能

●チャンネル毎に違う露光時間や平均値の設定が可能

●産業用プロセスコントロールに最適

 

対応するモデル: AvaSpec-128/ULS2048/ULS2048L/ULS2048XL

AvaSpec-NIR256/512

AvaSpec-EVO

 

 AvaSpec Multichannel-EVO  

新開発のAS-7010 MIcroprocessor board

(USB3.0 超高速通信 5Gbps、ギガビットイーサネット 1Gbps ) を採用した

超高速分光器 AvaSpec-ULS2048L-EVO  のマルチチャンネル型は

特に産業用プロセスコントロールに最適                       AvaSpec-EVOはこちら

 

またEVOシリーズに2048/4096ピクセルのCMOSディテクタを採用した最新型

超高速・高性能CMOS分光器    AvaSpec-ULS2048/4096CL-EVO のマルチ

チャンネル型はプラズマ計測用途に最適     AvaSpec-CMOS-EVOはこちら 

◆高性能プラズマ計測システム 

●高波長分解能、低コストシステム Ava-Plasma-A ( 4ch Desktop)

(4 x AvaSpec-ULS2048-USB2 )

●超高波長分解能システム Ava-Plasma-B    ( 8ch Rackmount)

(8 x AvaSpec-ULS2048-USB2 )

                                                                   *プラズマ計測はこちら

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最新高速・高波長分解能・標準万能型分光器 AvaSpec-VARIUS™

AvaSpec-VARIUS™

 

 

 

  

 

 

  

 

 

 

 

  AvaSpec-VARIUS™-OEM

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

AvaSpec StarLineは、長年Avantes 社が一般的な分光の応用計測用に開発し提供してきた万能型で、高パフォーマンスが得られる分光器。2018年以降、新開発のエレクトロニクスボードと最新のCMOSセンサ技術を採用した超高速分光器(USB3.0)が標準・万能型になっている。反射・透過率測定、発光測定やカラー計測等の最も一般的な分光計測をはじめとして、種々の応用計測に対応している。

最新のCOMSイメージセンサはブルーミングやスミア現象が生じることなく、高度な信号処理により、低ノイズでCCD センサと同等の感度や波長分解能が得られ、しかも費用効果が高いので、次世代に向けて今後ニーズが期待される。

 

AvaSpec-VARIUS™ は、汎用性に優れフレキシブルなデザインの万能型で、コンパクトでプラグアンドプレイ搭載の高速・高性能・高品質の次世代型分光器。最新のCMOS イメージセンサ (2048-2k / 4096-4k)を採用したCMOS ディテクタ型の次世代進化型。

超高速USB3.0 通信とGigabit Ethernetの高速伝送や多メモリー保存が可能で、迷光が殆どなく、高波長分解能・高パフォーマンスの測定が実現している。

最先端のオートメーション技術の工場で生産することで、優れた再現性が得られ個々の品質安定性・信頼性が高く、簡単に各種の機器やシステムに組み込み・統合することが出来る。パワフルでハイエンドなパフォーマンスと高精度・高信頼性、汎用性に優れると共にフレキシブルなデザインが特徴的で、広範囲にわたり各種のアプリケーションに対応出来ます。しかも手頃な価格が魅力的。

 

特長                              

●コンパクト、プラグアンドプレイデバイス             

●CMOS制御 (2048-2k / 4096-4k)                

●高速計測・データ処理 (USB3.0)5Gbps   

●機器や産業用システムへシームレスに統合

●計測の柔軟性(slitサイズの変更が簡単)

●s/n: 375 : 1

●感度:365.000 / 261.000

●露光時間: 最小9μs~30s
●F=75mm の光学ベンチ
●迷光:<0.1%
●ダイナミックレンジ :> 4500 : 1

●波長域:190~1100nm

 

AvaSpec-VARIUS™-OEMは、産業用の組込み等に適する様にデザインされたもので、電磁シールドを備えた頑丈なステンレス製のハウジングは顧客のデバイスやシステムにシームレスにまたスムーズに統合できる様に設計されている。

 

特長

●堅牢で産業用に最適なハウジング

●電磁両立性 (EMC) 

 

用途

 

AvaSpec-VARIUS Video by Avantes

 

 

 

*その他のAvaSpec-Starline_CMOS制御の分光器についてはこちらから

*マルチチャンネル分光器についてはこちらから

 

 

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CompactLine Spectrometers コンパクト名刺サイズ・CMOS制御・高パフォーマンス分光器

 

 

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Avantes社は1995年に設立され、分光器を中心とした光学機器のカスタム品や各種応用機器を発展させ、OEM製品を産み出していくという哲学のもと発展し、常に革新的で高精度、高品質、ユーザーフレンドリーの機器を創り出すことに力を置き、最先端の分光器、ファイバー、ソフト、光源、アクセサリーを提供しています。

 

光学ベンチ(AvaBench-ULS)

アプリケーションに対応する分光器ガイド
グレーティングの種類と波長への影響
スリットの選択と波長分解能
ディテクター仕様と波長分解能グラフ
NIR Lineディテクター仕様
迷光と2次光の影響を防ぐオプションの種類と特徴

★Avantes2024 総合カタログ(英文)はこちらから

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                  NEXOSTM         AvaSpec-Mini4096CL       AvaSpec-Mini2048CL             AvaSpec-Mini-NIR

  NEXOSTM 

 

 

 

 

                     

 

 

 

 

 

 

 

 

 

             

 

 

                       

NEXOSTMは最新のCompact Line の分光器で、これまでの分光器開発の経験を生かし、コンパクトで次世代のフォトニクスに対応出来る様に考慮し、あらゆる産業用途に応用できる様に開発され2023年にリリースされた最新型の高性能・パワフル・万能型分光器。

 

コンパクトながら高速で高パフォーマンスが得られ、高度な機能とユーザーフレンドリー設計により、OEMインライン計測対応で各種研究用、様々な産業や分野の幅広いアプリケーションに対応可能。
最先端のオートメーション技術の工場で生産される為、優れた再現性が得られ個々の品質安定性・信頼性が高く、簡単に各種の機器やシステムに組み込み・統合することが出来る。特にサイズやフレキシブルさが要求される場合に最適。

 

特長

●コンパクトサイズ

●CMOS制御(2K-2048ピクセル / 4K-4096ピクセル)

●高感度CMOSイメージセンサにより、高感度で高波長分解能の計測が実現

●最新の光学ベンチ(NEXOS Bench F=75mm)により迷光が少ない

●温度・波長安定性が高い

●計測の柔軟性(slitサイズの変更が可能)

●機器やシステムとの統合がスムーズ

●優れた再現性が得られ個々の品質安定性が高い

●PCへUSB接続でき、簡単にPCから制御出来る

●PCから充電も可能

 

     主な仕様                  NEXOSTM 2K                NEXOSTM  4K
    光学ベンチ (NEXOS Bench)       迷光の少ない左右対称型 Czerny-Turner タイプ  F=75mm
    波長域          190nm ~1100nm, 適切な波長範囲を選択可能
    迷光    0.1~1% ( 通常のグレーティング300 Lines/ mm, blaze 250nm < 0.3%)
  波長分解能

  0.05nm~21.3nm (グレーティング と スリットサイズによる)

    ディテクター

HAM S11639, CMOS linear array,

         2048 pixels (14x200 µm)

HAM S13496, CMOS linear array,

          4096 pixels (7x200 µm)

  シグナル / ノイズ  (s/n)                      375 : 1                  365 : 1
  サンプリング速度       0.36ms / scan           0.70ms / scan
    データ転送速度                  0.79ms / scan           1.12ms / scan
    ダイナミックレンジ                          4500
    露光時間                        9μs ~ 30s
    インターフェイス    USB2.0 (480Mbps) / ファイバーピグテイル(38cm) USB-A
  寸法              105 x 80 x 20mm, 277.5g
 

USB接続の基本型( NEXOSTM), RS232/SPI 接続型(NEXOSTM Link), ユーザーのニーズに合わせて構築出来る(NEXOSTM Bench) の3タイプが用意されている。

 

NEXOSTM Link                                                                                                                     

RS232/SPI 通信タイプ

●個体ごとの優れた再現性

●カスタムソフトウェア (DLL)

●OEM用のシステムインテグレーションに最適な光学系

 

NEXOSTM Bench Only                                                                                              

●自分の都合の良い通信で構築出来るタイプ

●最先端のオートメーション技術で生産

●カスタムソフトウェア (DLL)

●OEM用のシステムインテグレーションに最適な光学系

 

 

 

用途

 

★Avantes社のCompactLine の新しいシリーズは無限の可能性に溢れ、最先端のオートメーション技術工場での製作により、今までより以上に優れた再現性・品質安定性の製品になっており、信頼性が向上している。コンパクトながら各種のアプリケーションに対応出来る次世代型。

 

 

 

 

 

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 AvaSpec-Mini4096/2048CL

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

AvaSpec-Mini4096CL

 

 

 

 

 

AvaSpec-Mini2048CL

AvaSpec-Mini は、CompactLine の超小型(名刺サイズ)ながら非常に高い分解能で計測可能な分光器。最新CMOS リニアディテクタと迷光の少ない光学ベンチを採用して、ダイナミックレンジが3000:1 以上の高パフォーマンスを実現し高性能でパワフルな名刺サイズ分光器。しかも温度安定性に優れているのでOEM組込みしても信頼性が高く、各種研究用その他の応用は無限大。
最新のCMOS 技術を駆使したCMOS イメージングセンサはブルーミング現象やスミア現象を⽣じることがなく、CCD ディテクタと同等の感度や波⻑分解能が得られる。Grating と Slit の選択により最大0.09nm の非常に高い波長分機能を有することが可能。

光分析、環境計測を始め、化学実験やラマン分光、LIBS 等各種の研究用に最適。

 

特長

●CMOS リニア アレイ(CMOS linear array)
●2048 ピクセルタイプ と 4096 ピクセルタイプ
●最小波長分解能:>0.09nm (4096CL)
●AvaBench-75 (f=75mm)採用により迷光が0.2%以下
●ダイナミックレンジ: 3300 (>3000 : 1)
●露光時間: 最小30μs
●温度安定性が高い入出力ポートは5ch まで配置可能:1 アナログ出力、1 アナログ入力用、1x5V USB2.0 (480 Mbps) / ファイバーピグテイル(50cm)USB-A
●USB ケーブルで PC へデータ転送時にUSB コネクターから直接充電できるので、外付けの電源は不要 (USB 出力500mA)
●SMA905 標準型ファイバーコネクター対応 (FC/PC オプション)
●超小型 95x68x20mm, 175g
●波長域: 200~1100nm
●Grating(300,600,1800), Slit(10/25/50/100/200/500μm・・・5μm 可能)

 

◆ AvaSpec-Mini4096CL                                                                                                          
●CMOS4096 ピクセル(7x200μs)
感度: 261,000 /μW per ms 処理時間(ハロゲン電源、8μm ファイバーにて)

●波長分解能: 最小0.09nm
●S/N 比: 300:1
●データ処理速度: 6.5ms/scan
●データ転送速度: 8.9ms/scan

 AvaSpec-Mini2048CL                                                                                  
CMOS2048 ピクセル(14x200μs)
●感度: 337,500 /μW per ms 処理時間(ハロゲン電源、8μm ファイバーにて)
●波長分解能: 最小0.10nm
●S/N 比: 330:1
●データ処理速度: 3.0ms/scan
●データ転送速度: 4.6ms/scan

 

*AvaSpec-Mini-2048/4096CLを使用した半導体関連の計測例

 

*AvaSpec-Miniの用途の可能性について

 

 

  AvaSpec-Mini-NIR

AvaSpec-Mini-NIR は256ピクセルのInGaAsアレイディテクタと迷光の少ない光学ベンチを採用して、ダイナミックレンジが7500:1 以上の高パフォーマンスを実現し高性能でパワフルな名刺サイズ分光器。超小型(名刺サイズ)ながら非常に高い分解能で計測可能な分光器。
しかも温度安定性に優れているのでOEM組込みしても信頼性が高く、各種研究用その他の応用は無限大。
非冷却近赤外分光器AvaSpec-NIR256-1.7とMiniシリーズの技術の組合せにより生まれた画期的な超小型の近赤外型。食品分析、産業用リサイクルの分別、環境計測を始め、微弱光計測、プラスチックの成分分析、蛍光計測等に最適。小型軽量なので持ち歩きに便利で、レーザやハロゲンランプの波長測定用にも最適。

 

特長

●256ピクセルのInGaAsリニアアレイ
●AvaBench-75 (f=75mm)採用

●波長域: 900~1750nm
●露光時間: 最小10μs

●高感度モード(HS) と低ノイズモード(LN)の切換えが可能
●USB2.0 (480 Mbps) / ファイバーピグテイル(50cm)USB-A
USB ケーブルで PC へデータ転送時にUSB コネクターから直接充電できるので、外付けの電源は不要 (USB 出力500mA)
●SMA905 標準型ファイバーコネクター対応 (FC/PC オプション)
●超小型 95x68x20mm, 185g

 

◆高感度モード(HS)

●感度: 665,000 /μW per ms

●ダイナミックレンジ: 4750:1                                           
●露光時間: 10μs ~300ms

●S/N 値: 1900:1

●ダークノイズ:14counts

 

◆低ノイズモード(LN)

●感度: 38,000/μW per ms

●ダイナミックレンジ: 7500:1                                           
●露光時間: 10μs ~5s

●S/N 値: 5000:1

●ダークノイズ:9counts

 

●AvaSpec-Mini-NIRを使用した吸収計測のやり方

 

用途

■近赤外分光(NIR分光)例

①肥料分析                     ②酪農現場での牛乳の分析 

③リサイクル現場での分類       ④小麦のタンパク質含有量分析 

⑤拡散反射率NIR分光法による水分含有量の分析 

 

 

●AvaSpec-Mini の用途の幅広い可能性

 

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液晶空間光変調器 3Dホログラフィック光ピンセット キット 登場   (Meadowlark Optics社製)

 

Meadowlark 社製の液晶空間光変調器は独自開発の LCOS ( シリコンに液晶をコーティング ) 技術によるユニークな設計と、それと独立して常に新しいレートで直接アナログデータを届けるアナログドライブ技術により、リップルの無い安定性の高い位相変調が可能な2軸反射型 SLM です。超高速型 (SLM-HSP-UHSP-1024x1024) と高解像度高安定性型 (SLM-E1920x1200)が有り、スペクトルチューニングや回折光学素子等に紫外域から近赤外域まで対応します。

この度高解像度SLM-1920x1200を使用した3Dホログラフィック光ピンセット キット(システム)が登場しました。

その他のキットにはSLM を簡単にシステムアップ出来るSLM光学キットと1光子顕微鏡用キットが有ります。

3Dホログラフィック光ピンセット キットはポータブルな自立型で、シンプルな表示の(GUI)インターフェース搭載の光ピンセットプラットフォームであり、光ピンセットの論理的な深い知識がなくてもカスタマイズ・較正・PC制御等が行えるソフトウェア開発型キットと言えます。つまりデフォルト設定により、ユーザーは提供されたGUI と構築されている光学システムを使用して、3次元(3D)の微細な物質をすばやく簡単に操作することが可能です。しかもアクセシブルなデザインで、手間のかからないカスタマイズが可能なので、ユーザーが簡単に光学部品を付け加えたり取り外したり出来ます。

 

                                                                                                         

 

特長

  • ●高解像度SLM-1920x1200を使用した3D光ピンセット用システム
  • ●ホログラフィー用の光学トラップを創る為のカスタムソフトウェア
  • ●ホログラフィックビームコントロールを使用して3次元の微細粒子を操作
  • ●高い時間的トラップ安定性
  • ●312 x 312 μm の視野で空間的に均一なトラッピング

 

         

   SLM-1920x1200

 

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超短パルス生成モジュールによるフェムト秒レーザ事例とマイクロマシニング応用 (n2 Photonics社製)

 

 n2 Photonics社製のパルス圧縮モジュールを使用することにより、フェムト秒レーザのパルス幅を圧縮変換して、更に超短パルスを創り出すことが可能です。

  1.  

             

 

特長

★シンプルな操作

★信頼性の高い24/7稼働

★非常に堅牢な産業用グレード技術

 

用途

■研究開発・・・超高速ポンププローブ分光、高調波・深紫外高調波、アト秒パルス生成、超赤外放射生成、走査型近接場光顕微鏡

■顕微分光・・・非線形顕微分光、2光子顕微分光、CARS顕微分光、3光子顕微分光

■材料加工・・・表面ナノ・マイクロ構造構築、レーザーリソグラフィー、マルチフォトン重合

 

  1. これまで多くメーカーとコラボしてアプリケーションに合うコンプレッションを提供していますが、Light Conversion 社製
  2. フェムト秒レーザ PHAROS, CARBIDE を使用した最新のコンプレッション例をご紹介します。

 

● MIKS1_S@CARBIDE (LC)   

● MIKS12@PHAROS (LC)      

● MIKS12_UP@PHAROS (LC)  

●Micromachining setup_MIKS1_S@CARBIDE (LC)  

 

いろいろなアプリケーション例の中でも微細加工用のセットアップに使用する事例に注目し、オプティクス等の追加に

対する分散補正を行なう事により、レーザのコンプレッション同様の超短パルス生成を行うことが可能になっています。

今後は材料加工を行う産業用の微細加工用途に向けてより開発を続けていくようです。

 

 

 

 

 

    

 

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Meadowlarks Optics社製 偏光コンポーネンツの取扱いを開始 (総代理店になる)

                 

 

Meadowlark Optics 社は、2023/5/1 BNS (Boulder Nonlinear Systems) 社を買収し、理科学用途にも産業用途にも多岐にわたる用途で使用される最先端の液晶偏光製品の販売を開始しました。

同社は広範囲に渡る波長域の高品質な偏光システムやコンポーネンツ (液晶偏光製品を含む) を材料の選別・設計から開発、製造まで手掛けて販売しており、偏光科学のマーケットに於いて他よりも高品質な製品のラインナップを取り揃えており、お客様のニーズやユニークなアプリケーションにも使用出来る様にカスタム対応をしています。

偏光製品は液晶空間光変調器と共に現在当社の代表的な2大製品群となっています。
フォトテクニカ株式会社は、画期的な超高速・高解像度モデルを開発しているSLM液晶空間光変調器に力を注ぐと共に、新たに偏光コンポーネンツの取扱いを開始してお客様のニーズに応えて参ります。

更に弊社は2023/11/29より、Meadowlark Optics社製品の日本国内販売における総代理店になりました。

Meadowlark Optics社の全製品は下記(Catalog)からご覧いただけます。

       

偏光コンポーネンツ

 

Polarizers                              Beamsplitting Cubes                                           

 

Waveplates-Retarders                                                          Liquid Crystal Devices

 

Polarization Systems

 

 

 

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