LIBS測定 – フォトテクニカ株式会社

高効率 LIBS(レーザ誘起ブレイクダウン分光法)システム AvaLIBS

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AvaLIBS　

AvaLIBS-Specline

AvaSpec-ULS2048CL-EVO

COL-UV/VIS

AvaLIBS 石炭の分別

　　AvaLIBS　半導体

AvaLIBS 非鉄金属の選別

LIBS (Laser-induced breakdown spectroscopy) は分子スペクトルの計測や広い領域での分析が可能で、ガス分析や固体の組織分析への適応が可能なので、理化学実験や各種研究開発に有効。

迅速に化学分析をする為には、ナノ秒レベルのレーザパルスを物質表面に照射してマイクロプラズマを生成することが必要で、プラズマを紫外域から近赤外域まで高感度・高波長分解能で計測できるAvantes社の分光器AvaSpecは LIBSシステムに最適。

AvaLIBSシステムは高効率で各種の応用計測に対応出来る。
特にチャンネル毎に波長やスリット・グレーティング等を設定できるマルチチャンネルタイプ：Multi-ch(4～10）がお薦め。

特長
●計測速度が速い（数秒）
●どんな物質でも計測可能
●外部トリガー機能
●最小波長分解能：　>0.06nm（波長による）
●マルチチャンネル型はチャンネル毎に独立した波長・スリット・グレーティング設定が可能
●便利な独自の分光・解析ソフト：AvaLIBS-Specline　
●波長域：　200～1100nm
●コンパクトで費用効果が高い
●周囲の環境（温度等）や試料の状況に左右されない

AvaLIBS-Specline　

●AvaLIBS-Specline-A	中心となる波長と物質を特定するスペクトルラインと分子レベルを原子とイオンまで表示
●AvaLIBS-Specline-AM	中心となる波長と物質を特定するスペクトルラインと分子レベルを原子、ぶんし、イオンまで表示
●AvaLIBS-Specline-AMS	中心となる波長と物質を特定するスペクトルラインと分子レベルを更に, 分子水素と多原子分子等多くの空間分子まで拡大して表示

◆AvaLIBS 応用例

　　　　　　　　　　　　　　　　　　Application Note 1　　　Application Note 2

■AvaLIBSシステム構成
高速・高波長分解能分光器＋ナノ秒レーザ　＋　専用分光・解析ソフト + （コリメーティングレンズ）
(AvaSpec-ULS2048/4096CL-EVO)　 (TINY-L） (AvaLIBS-Specline)　（ COL-UV/VIS and COL-90-UV/VIS ）
(AvaSpec-Mini2048CL)

＊AvaSpec-ULS2048/4096CL-EVOは、高性能CMOSディテクタと新開発エレクトロニクス（EVOシリーズ）により高速で高波長分解能の測定が可能

＊レーザはシステムに含まれていないが、TINYシリーズ(GraceLaser社製）を提供可能

用途
■各種金属
■半導体
■ガラスコーティング
■高分子膜
■生体組織
■プラスチック、絶縁体
■土壌、植物
■環境測定

＊AvaLIBSの応用計測例
■鉱石・ミネラルの抽出：鉱山から manganese (Mn), magnesium (Mg), strontium (Sr), calcium (Ca) and iron (Fe)等を選別

●冶金プロセスのプラズマ測定、溶融金属の分析

■エネルギー生成
●石炭が燃焼して灰になった後の成分、構成物質の計測
（温室効果ガスの放出量削減に役立つ）

■産業用途

●半導体のシリコンウエハーのコーティング膜の検査等品質管理

●ファイバーから得られるレーザパルスを利用して銑鉄からmanganese (Mn)、Ti(Titan) を選別する　　
■リサイクル産業
・プラスチックや金属の分別
・アルミニウムを他の金属から分別（金属くずでも区別可能）
・自動車の廃棄物である非鉄金属：アルミニウム合金からアルミニウムを区別
　　

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分光器

応用計測

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