分光器の応用計測 高性能プラズマ計測システム Plasma Measurements
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プラズマイメージ
4ch高波長分解能システム
8-10ch 超高波長分解能システム |
マルチチャンネルの高性能プラズマ計測システムはAvaSpec-ULS2048CL-EVOを複数チャンネル使用し、チャンネル毎にプラズマの幾つもの放射ピークを紫外域から近赤外域まで的確に捉えることが可能で、これまでに無い高波長分解能での計測が実現可能。 プラズマのより高性能な計測の為に開発したシステムで、専用の分析用ソフトウェア、独自の多分岐ファイバーを使用し、チャンネルごとにグレーティング・スリットを設定して高波長分解能での計測ができる。しかも一体型なので無駄なく費用効果も高い。
特長 ◆4ch 低コスト、高波長分解能システム 専用ソフトウェアに一般的なマテリアルやコーティング材料の物性値がデータベース化されており、選択して使用可能。
◆8~10ch 超高波長分解能システム
用途
Semiconductor Applications for Spectroscopy by Avantes
★高速近赤外分光器を使用したプラズマ計測
pulsed Flash Measurement with High-speed NIR spectrometer |